용제 회수 설비(SRS, Solvent Recovery System)

용제회수설비는 가스에 포함된 NMP나 DMAC 같은 고가의 유기 용제를 회수하기 위해 사용되는 설비입니다. NMP나 DMAC과 같은 고가의 유기 용제들은 LCD 공정, 반도체 및 Li-ion 배터리 공정 등의 세정제로 사용됩니다.

• 운전 원리

  VOC 가스를 고온의 연소실에서 CO2 및 H2O 로 전환함.

  유입된 가스는 열교환기와 Burner를 통하여 산화온도인 700~750℃까지 승온됨.

  처리된 가스는 열교환기를 통해 입구가스를 예열한 후 냉각되어 배출됨

  열교환 매체인 열교환기의 열회수 효율은 60% 임.

• 특징 및 장점

  VOC 처리효율이 99% 이상임.

  V유입가스의 압력변동이 없어 공정에 영향을 주지 않음.

  V열 교환기의 열 회수율이 낮아 저농도 가스 유입 시 운전 비용이 높음.

  V저유량 고농도 가스에 적합함.